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DISCO实现¼„›_Œ–¼‹…片SiC 材料加工—全‹¹ç¨‹çš„降本提效!

发表于:2023-06-26 来源åQ?a href='http://www.longdiandoors.com/news/128.html'>http://www.longdiandoors.com/news/128.html


      ¼„›_Œ–¼‹…单晶具有优异的热、电性能åQŒåœ¨é«˜æ¸©ã€é«˜é¢‘、大功率、抗辐射集成电子器äšg领域 æœ‰ç€òq¿æ³›çš„应用前景。碳化硅¼‹¬åº¦é«˜ã€è„†æ€§å¤§ã€åŒ–学性质½E›_®šåQŒä¼ ¾lŸåŠ å·¥æ–¹æ³•ä¸å®Œå…¨é€‚用因此在加工过½E‹ä¸­ä¼šå‡ºçŽ°æ•ˆçŽ‡é™ä½Žã€æˆæœ¬å¢žåŠ çš„现象ã€?/span>


      DISCO åˆ›é€ æ€§åœ°é‡‡ç”¨ KABRA æŠ€æœ¯ã€? è½´ç£¨å‰Šå’Œòq²æ³•æŠ›å…‰ã€è¶…声æ‡L切割和隐形切å‰ÔŒ¼Œåˆ†åˆ«åœ¨ç¢³åŒ–硅片制造、器件减薄ã€?nbsp;切割环节实现了显著的优化效果ã€?nbsp;


      ¼„›_Œ–¼‹…片刉™€ ï¼š2016 òqß_¼ŒDISCO ç ”发出新型碳化硅晉™”­‹È€å…‰åˆ‡ç‰‡æŠ€æœ¯ï¼ˆKABRAåQ‰ï¼Œæ˜¾è‘— ¾~©çŸ­åŠ å·¥ç”¨æ—¶åQŒå°†å•ç‰‡ 6 å¯?nbsp;SiC æ™¶åœ†çš„切割时间由 3.1 ž®æ—¶å¤§å¹…¾~©çŸ­è‡?nbsp;10 åˆ†é’ŸåQŒå•ä½?nbsp;材料损耗降ä½?nbsp;56%åQŒæ™¶åœ†äñ”量提å?nbsp;1.4 å€ã€‚同时新技术可抑制晶圆起伏åQŒæ— éœ€ç ”磨操作ã€?/span>


      ¼„›_Œ–器äšg减薄åQšç¢³åŒ–硅断裂韧性较低,在薄化过½E‹ä¸­æ˜“开裂,å¯ÆD‡´¼„›_Œ–¼‹…晶片的减薄é?nbsp;常困难。DISCO é€šè¿‡ 4 è½´ç£¨å‰Šæé«˜ç”Ÿäº§çŽ‡åQŒé€šè¿‡òq²æ³•æŠ›å…‰æé«˜è´¨é‡ã€?/span>


      ¼„›_Œ–器äšg切割åQšè¶…声æ‡L切割提高处理速度和质量、减ž®‘韧性材料的毛刺åQ›éšå½¢åˆ‡å‰²æ— éœ€ æ¸…æ´—åQŒä¸”有助于减ž®èŠ¯ç‰‡é—´éš”ã€?/span>





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