ï»?!DOCTYPE html> 8寸晶圆减薄è{å?- ‹z›é˜³ä¼ é¡ºæœºæ¢°è®‘Ö¤‡æœ‰é™å…¬å¸
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8寸晶圆减薄è{å?/h1>

8寸晶圆减薄è{å?/a>åQšZCS-260QD0045åž?b>气静压电主èáu


1、主要技术指æ ?/span>


2ã€?主要¾_‘Öº¦æŒ‡æ ‡

①ã€?转台回è{¾_‘Öº¦â‰?0.1um                    â‘¥ã€?轴向刚性≥350N/um

②ã€?动åã^衡精度等¾U§â‰¤ G0.4                   â‘¦ã€?轴向最大承载≥2500N

③ã€?动态全速度范围内振åŠ?V â‰?0.1mm/s       â‘§ã€?径向刚性≥125N/um

④ã€?噪声全速度范围å†?â‰?50 dB               â‘¨ã€?径向最大承载≥2500N

⑤ã€?主èáu外壳最高温å?â‰?10 â„?              â‘©ã€?重量 130KG

 

3、特性曲¾U?nbsp;



4、外形图


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