ï»?!DOCTYPE html> 12寸晶圆减薄è{å?- ‹z›é˜³ä¼ é¡ºæœºæ¢°è®‘Ö¤‡æœ‰é™å…¬å¸
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12寸晶圆减薄è{å?/h1>

12寸晶圆减薄è{å?/a>åQšZCS-400QD005åž?b>气静压电主èáu

1、主要技术指æ ?/span>


2ã€?主要¾_‘Öº¦æŒ‡æ ‡

①ã€?转台回è{¾_‘Öº¦â‰?0.1um                    â‘¥ã€?轴向刚性≥500N/um

②ã€?动åã^衡精度等¾U§â‰¤ G0.4                   â‘¦ã€?轴向最大承载≥3500N

③ã€?动态额定速度范围内振åŠ?Vâ‰?.1mm/s       â‘§ã€?径向刚性≥200N/um

④ã€?噪声全速度范围å†?â‰?50 dB               â‘¨ã€?径向最大承载≥2600N

⑤ã€?主èáu外壳最高温å?â‰?10 â„?              â‘©ã€?重量 240KG


3、特性曲¾U?/span>


4、外形图 

相关标签:直驱­‘…精密气静压转台,12寸晶圆减薄è{åîC­hæ ?/a>,12寸晶圆减薄è{台批å?/a>,

上一个:高功6/8/12寸复合减薄è{å?/a>

下一个:8寸晶圆减薄è{å?/a>

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